REM – Rasterelektronenmikroskop

Bei der Rasterelektronenmikroskopie wird ein feingebündelter Elektronenstrahl rasterförmig über die Oberfläche des zu untersuchenden Objekts geführt. Die durch Wechselwirkungen auf der Oberfläche freigesetzten Elektronen werden detektiert und in eine Abbildung umgewandelt. Das abgetastete Raster lässt sich sehr fein anlegen, sodass Aufnahmen mit hoher Auflösung und  Tiefenschärfe entstehen.

In Verbindung mit einer energiedispersiven (EDX) oder wellenlängendispersiven Röntgenspektroskopie (WDX) bietet die Rasterelektronenmikroskopie vielseitige Einsatzmöglichkeiten. Beide Methoden detektieren die durch Anregung entstehende elementspezifische Röntgenstrahlung. Die EDX ermöglicht eine gleichzeitige Detektion mehrerer Wellenlängen. Bei der WDX wird jeweils eine Wellenlänge betrachtet.